.[,！]带着这样的疑惑,鹤田和白石茉莉奈双双跟着周硕走进了地下实验室的大门.
经过穿戴防尘服和除尘通道之后,三个人进入了实验室内部.鹤田望着这庞大的地下空间,不由得有些眼晕.事实上这种密闭的地下空间,也确实比较容易引起一些人的心理反应.
周硕瓮声瓮气的声音,从防尘面罩后面陆陆续续的传了出来:"这是泛翰研究所的蜂巢实验室,负责光刻机沉浸式技术的研发.沉浸式的研发要点总共有三个部分,分别是光源,镜头和防水光刻胶的研制."
他边走边侃侃而谈道:"我们的光源使用的是的i线弧光灯光源,这样在经过纯水的折射之后,它的波长就变成了.而纯水,必须是9个9纯度的去离子水.至于说沉浸式光刻最大的技术障碍,那肯定就是防水光刻胶了.普通光刻胶是无法在水中保持不扩散的,所以必须使用特制的……"
周硕倒是不怎么在乎保密的问题,如果来两个人看两眼,听两句科普就能把技术抄了去,那这种技术也没有什么保密的必要了.沉浸式光刻技术在历史上可是持续研究了十多年,才逐渐投入使用的技术.真要是形成论文,绝不会少于一个尼康运资料的木箱.在后世是几种影响线宽因素中,非常重要的一个方面.
他们向实验室内部走去,很快就到了一台机器前面.很明显,白石茉莉奈一眼就看出来,这是一台尼康生产的0.5微米光刻机.此时它能够出现在这里,不言自明是作为改装实验设备.
果然,周硕指着这台两人高的机器说道:"二位,这就是我们泛翰研究院改装之后,性能已经达到0.35微米的尼康光刻机了."
"经过改装后,它的加工能力达到了0.352微米水平.遗憾的是虽然加工能力提升,但它的良品率也下降了百分之十."
白石茉莉奈抓住机会,突然打断了周硕的话说道:"周桑,我能离近了观察一下吗?"
周硕挑了挑眉毛,想都没想的点头道:"当然可以,实际上我正想演示一下它的运转过程.如果方便的话,白石经理请你帮忙操作一下旁边的光源系统."
与此同时他自己也站在光刻机另一边的机柜旁,开始在键盘上操作起控制电脑来.白石茉莉奈对尼康自产的光刻机当然无比熟悉,在周硕的指挥下也很快对光源系统进行了设置.
随着设置的结束,一旁储存晶圆的柜子里,在细微的电机声中突然转动了起来.一片晶圆在机械手的操作下被送上了光刻台,已经涂好光刻胶的晶圆在对准系统的操作下,进入了准备接受激光照射的位置……
白石茉莉奈目不转睛的透过玻璃窗,看着正在运转中的光刻机镜头.
在光刻机最后一组镜头的下面,有别于尼康的设备,泛翰研究所的光刻机额外多出了一个玻璃罩.玻璃罩的左右有两个小水管.白石茉莉奈知道,那是注入纯水的通道.玻璃罩的下面到和晶圆上的光刻胶为止,现在应该已经注满了高纯度的去离子水.
真正的高纯度去离子纯水有些微微偏蓝,而不是我们惯常见到的透明色.白石茉莉奈只能通过机械操作的对准系统运转,来判断光刻机是否在工作.因为她是看不到激光颜色的,这是由于光刻的激光高度集中根本不会散射出来,人眼自然也就无看到激光的存在.
周硕站在一旁,双手抱胸看向两个人,不咸不淡的笑道:"怎么样,我们泛翰集团对尼康光刻机的改造,白石经理还看得过眼么?"
说完,他也不理白石茉莉奈的反应,转过身来向鹤田问道:"我不说的话,想必鹤田先生肯定是在怀疑,我们泛翰集团又在耍花招骗取尼康的技术吧?"
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