1991从芯开始

三分糊涂

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第631章 全村的希望

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苏远山突然觉得嘴皮有点干,沉默许久后,他抿着嘴唇,轻声道。

“我得承认,我这段时间确实对光刻机领域关注得少了一点。”

曲慧此时已经放下书,望着他,正色道:“你不止是少一点,光刻机是不能放弃的。”

“是。”苏远山点头,再次沉默几秒后望向郑振川:“郑叔,就算德远采购明年的Krf光刻机,能够让你们拥有竞争力吗?”

“或者说,你们宏芯真的到了必须得靠德远采购才能活下去的时候了?”

“不……当然不是。”郑振川马上摇头:“如果德远能够采购我们的光刻机,国内一帮人肯定会闭嘴的,更何况……我们还有双工件台呢。”

苏远山微微点头。

这个理由他认可。

从规模上,德远当然比不过intel,德仪,NEC这种老牌半导体企业,甚至连岛上的联电都比不过。

但从制程工艺和技术实力来看,德远的崛起确实带着浓浓的远芯印记,短短四年时间不到,就追上了制程领域的第一梯队,堪称半导体行业的奇迹。

而从德远上个季度公布的财报来看,德远也跻身进了十大晶圆厂。甚至因为并没有涉足目前正受冲击的DRAM领域,还一举超过了NEC和德仪,一举进入了前六。

如果能拿到德远的“认可”,显然对宏芯的光刻机是有正面宣传意义的。

沉默着,苏远山突然望向曲慧。

“曲慧姐,你们那边的定位精度在一年内能提到多少?有计划表没有?”

——工件台的精度与光刻机的制程工艺是两码事,一般来说,0.5微米制程,搭配纠偏系统的话,需要的套刻精度是0.1微米以下。

套刻,指的是,在依次曝光完硅晶片的所有field后,更换掩膜进行重复曝光,这两次曝光的过程中的掩膜,需要精确地套叠在一起,因此被称为套刻。

而众所周知,工件台是光刻机工作时所有工序的平台,因此套刻精度又受工件台定位精度的直接影响。

在引入误差后,双工件台的精度起码还得提升个10倍,达到0.05微米的精度以上,才能真正用在0.25微米的制程工艺上——这才是远芯需要的光刻机。

而后世的工件台,定位精度甚至能够达到2纳米以下!加上多重曝光,理论上甚至能实现2纳米的制程。

现在曲慧说定位精度在0.5微米,那意思就是首都精科那边只能算是造出了双工件台,要真正运用在光刻机上,还需要进行不断的调试。

苏远山对机械不甚了解,他只知道,如果零部件误差在允许范围内的话,那么精度的提升就只能依靠纠偏系统了。

纠偏系统,顾名思义,就是纠正偏移的系统。它的工作原理说简单也简单,就是搭配光栅传感器,把精度控制、调整在可以接受的范围内。但说复杂也复杂,因为它对运动控制模块的要求相当高。

曲慧合上书,回答道:“计划当然是有计划,我们接下来会一直继续优化纠偏系统和运动控制模块,但现在没办法告诉你准确的进度。”

苏远山慢慢点头,突然问道:“首都高科对双工件台的出口计划是什么?”

郑振川和曲慧一对视,两人同时沉默。

片刻后,郑振川轻声道:“小山,我们被国外掐脖子掐得够厉害了,我认为我们的双工件台不需要出口。”

曲慧同样点头:“我也认为。”

……

苏远山长长地叹了一口气。

直到现在,他才终于弄明白了这二人的真正来意。

曲慧的想法,大概是她更多从要之前被掐脖子掐得狠了,现在终于轮到自己领先,要“爽一把”的角度来考虑。

而郑振川,则是考虑到双工件台所带来的效率提升,必定会赋予宏芯光刻机强大的竞争力——说白了,就是郑振川把国产光刻机的未来押在了双工件台上。

但显然……首都精科那边的想法不一样。

毕竟这是产品,而不是技术。

是,产品是存在着被山寨的可能,但别忘了,有种东西叫防拆自毁装置——这还是西方搞出来的。

一旦出口,则意味着首都精科将会拥抱更大的市场,拥有更高的平台,甚至还极有可能用双工件台来换取某些领域封锁的解除。

而世人皆知,远芯在半导体领域内,拥有无比的前瞻和影响力。

如果远芯能够表明态度,那么这双工件台到底是被列为禁止单独出口的设备,还是可以供货给目前世界所有的光刻机企业……或许就能尘埃落定了。

——这便是两人在双工件台刚好完成“拼装”,还处于保密期就来找苏远山的原因。

……

苏远山当然知道双工件台的重要性。

而且他还知道,在历史上的4年后,ASML就会利用上双工件台技术。而数年后,更是依靠磁悬浮双工件台和浸润式技术大杀四方,彻底把尼康佳能彻底打落尘埃。

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