陈启明没有丝毫耽搁，按照全息地图的指引，脚下的自动步道载着他平稳而迅速地滑向了“办公区”。
所谓的办公区，并非传统意义上摆满格子间的办公室，而是一个充满了极简主义设计感的小型空间。
他火速打开电脑，先是看了一眼配置。“嚯，无敌！配置拉这么高？”
又看了几眼复杂的科研管理和数据分析软件后，直接点开了一个名为【万物采购】的特殊程序。
一个类似购物网站的界面弹了出来，但上面的商品分类却足以让任何一个国家的战略部门都为之疯狂。从“基础化学试剂”到“顶级生物试剂”，从“高纯度单晶硅”再到“原始矿物”，应有尽有。
陈启明沉思了一会，在脑子里回想了一下光刻机的制造图纸和材料以及关键参数，便打开电脑将相关的材料列表调出并下单购买。
很快电脑上显示订单下单成功，货物已经送达“仓库区”。
“这么快？”陈启明愣了一下，旋即了然。这个所谓的【万物采购】，恐怕根本不是从外部世界购买，而是系统直接利用某种黑科技，在实验室内部凭空生成。
他关掉电脑，直奔“仓库区”。果然，打开这道巨大的合金门，里面整整齐齐地码放着他刚刚“购买”的所有原材料：一堆堆闪烁着金属光泽的稀有金属锭，一箱箱装着高纯度化学粉末的密封容器，还有几块被特殊力场保护起来、完美无瑕的巨大石英晶体。
看着这些堆积如山的顶级原材料，陈启明没有立刻动手。他反而站在原地，闭上了眼睛。
他的脑海中，关于EUV光刻机的知识如同浩瀚的星河在奔涌。
他“看”到了，在另一个世界线上，为了造出这样一台机器，人类付出了何等艰辛的努力。
他看到了白发苍苍的德国光学家，耗费数年光阴，用离子束一寸寸地打磨着一块镜片，只为达到那近乎于神的皮米级精度；他看到了美国的工程师团队，为了一个稳定输出250瓦功率的EUV光源，进行了上万次失败的实验，每一次爆炸都意味着数百万美元打了水漂；他看到了荷兰的机械天才，为了让双工件台在真空环境中实现7G的加速度和纳米级的定位，绞尽脑汁，设计出了一套复杂到极致的磁悬浮驱动与测量系统。
超过十万个精密零件，来自全球三十多个国家、五千多家顶级供应商，凝聚了数代顶尖科学家的心血，被上万项专利壁垒层层封锁。这才是“工业皇冠上的明珠”的真正含义——它不是一个国家、一个公司能独立完成的奇迹，而是当前人类文明科技力量的最高结晶。
任何一个环节出错，整个项目都将停滞不前。任何一个国家被排除在全球供应链之外，都意味着要从零开始，用数十年时间去追赶，且未必能够成功。
而现在……
陈启明睁开了眼睛，眼神中再无一丝波动，只剩下绝对的冷静和自信。
那些困扰了全世界顶尖科学家的难题，在他脑中，都只是一个个清晰的、已经有最优解的方程式。
但是，系统所给予的是7nm光刻机，这不够，要造，就造1nm！
于是陈启明又陷入沉思，开启头脑风暴。
他的大脑此刻如同一台全功率运转的计算机，无数关于半导体物理和精密制造的知识流在其中交汇、碰撞、重组。
“系统给的7nm EUV光刻机图纸，是基于前世中最成熟的FinFET（鳍式场效应晶体管）架构。这个技术在10nm和7nm节点堪称完美，但再往下走，它的物理极限就暴露无遗了。”
陈启明的脑海中，一个晶体管的三维模型清晰浮现。他能“看”到，随着晶体管的沟道宽度不断缩减，栅极对沟道中电流的控制能力会急剧下降，这就是所谓的“短沟道效应”。在7nm节点，FinFET通过将栅极三面包裹住鳍状的沟道，还能勉强维持控制。但到了5nm，甚至是3nm，电子就会像脱缰的野马，通过量子隧穿效应肆意泄露，导致芯片功耗急剧上升，发热失控。
“所以，前世从7nm到5nm、3nm，关键的一步，就是必须抛弃FinFET，全面转向GAA（环绕栅极）架构！”
这个念头一起，他脑中的晶体管模型瞬间发生了变化。原本“鱼鳍”一样的硅通道，变成了一根根更细的、悬空的“纳米线”或者“纳米片”。而栅极，则像一个完整的圆环，将这些纳米线/片360度无死角地包裹起来。
“从三面包裹到四面环绕，控制力的提升是指数级的！这能最大限度地抑制量子隧穿，将漏电扼杀在摇篮里。三星和台积电在现实中就是这么规划的，这是从7nm迈向3nm的必由之路。”
解决了晶体管架构的问题，只是第一步。陈启明面临着一个更恐怖的难题。
“但是，1nm……那已经是原子级别的尺度了。仅仅依靠GAA架构也不够。最大的瓶颈有两个：如何‘画’出1nm的线路，以及如何让‘画’出来的线路有效工作。”
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