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第八十六章 质疑剽窃

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李皓深谙打人要打脸的道理,只可惜这回他们似乎是没脸来,重新又换了一批人。

虽然依旧那般的傲慢,年纪也是一般的大,但总归是差了点感觉。

正当李皓都不想搭理他们的时候,他们却又主动上门来找虐。

因为在光刻机研究卡壳在193nm的这些年里,日本和阿斯麦公司选择了不同的路线。

日本人坚持以往思路,继续迭代技术,去研发新的光源,坚持在传统干式微影技术上一条路走到底。

而阿斯麦则因为加入了美国牵头的EUV联盟,就主张使用极紫外技术生产设备。

从后面的发展情况来看,EUV技术无疑更先进,日本在选择传统派阵营时,其实就已经输了。

但事实上,日本人也并非不愿意尝试极紫外光技术,而是被美国别有用心的排除在了门外。

毕竟即使它们再怎么愿意当儿子,也架不住人家的忌惮。

就像是之前的广岛协议一般,美国是不会允许有人来实际威胁他们的地位的,即使是干儿子也不行。

只不过在现如今的阶段,因为技术储备的原因,双方暂时都没有达成目标。

不过相比于极紫外光技术依旧存在的很多技术难关,日本人这里的157nm F2激光的研发却已经有了实质性进展。

所以在这个时候,对于中国人弄出来的浸润式光刻机,就让他们极为排斥。

因为它们能从现有公布出来的数据中看出来,浸润式光刻机的后续开发空间巨大。

只需要调整光刻胶上面的液体密度,就能将193nm的光波长折射成需要的精度。

而且最重要的一点,这种浸入式方案属于小改进大效果,有着以往的产品经验,稳定性和开发速度必然都不是它们的新产品能比的。

要知道它们为此可是投入了重资,一旦先机被抢走了,那投进去的钱不就全打了水漂。

反观阿斯麦这里,见到了这台光刻机之后,反应也是非常强烈。

随即就找到了林奔坚询问情况,原来就在今年的早些时候,他们就已经和林奔坚取得了联系,并最终同意了对林奔坚给的浸润式方案进行实验。

结果他们这还在实验中的方案,现在却见这里已经拿出了成品,当然就想要问清楚。

林奔坚对此也是一头雾水,好在他脑子里面还有理智,没有选择直接跳出来。

而是在徐教授发完言下台后,赶忙就带着阿斯麦的人,找到了徐教授。

“徐教授,我想请问你们这个浸润式方案是从哪里来的?”

徐教授之前听李皓提起过这位,也听过他的一些研究方向。

所以对于他的质问,并没有太过意外:“这个自然是我们基于浸没式光刻技术,自行研发出来的成果,有什么问题吗?”

浸没式光刻起源于浸润式显微镜,是由一个意大利科学家在1855年发明的。

相对于光刻机是将图案缩小投影到光刻胶上,这个显微镜的功能则是将图案放大到CCD探测器上。

虽然是两个不同的领域,但根本的原理却是相通的,所以徐教授这么说也没问题。

可是架不住林奔坚不信啊,质疑道:“真的是这样吗?我记得之前,曾经有一位大陆人接触过我,希望我能加入到国内的实验室工作。

虽然当时他并没有说哪家实验室,但看现在情况,他应该和您是一起的吧。

您可能还不知道,我已经和阿斯麦公司达成了合作,也正在研究浸没式光刻机。”

听到这话,徐教授也是不由皱起了眉头:“所以你是怀疑,我们偷取了你的研究成果?这简直就是个笑话。

就不说浸没式的概念,早在上个世纪就有人提出过,就算是有关光刻机的具体理论,也是在1980年,由列支敦士登公国的W.Tabarelli和E.W.Lobach提出。

并且还在美国申请了专利,这个和你好像也没什么关系吧,所以你指的偷取成果是从何而来。”

这话堵得正中核心,毕竟老美自己的专利认可,它们总不能来自打嘴巴。

徐教授这里聚集了一堆人,也让在后面关注的李皓注意到了。

于是便走了过来,询问发生了什么事情。

徐教授不客气的说道:“这位是台岛的林奔坚教授,刚刚质疑我们剽窃成果。”

“林教授,之前你虽然没有接受邀请,但谈的也算是愉快,不用这么有敌意吧。”

听到李皓就这么承认了这件事,林奔坚心里就更坐实了自己的想法。

不过他也是认识李皓的,毕竟之前他在美国工作了二十几年,怎么会不知道李皓这么个风云人物。

当着李皓的面,纵使他心里有不满,也得收敛起来。

“我只是合理怀疑而已,毕竟贵公司曾经和我接触过,而我之前就是在做关于这方面的研究。”

李皓笑道:“那你可能是误会了,有关浸没式光刻机的专利授权,我们已经从W.Tabarelli和E.W.Lobach手中获取到了。

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