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第五百六十四章 打破瓦森纳协定的封锁

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美国、德国、日本,一个个的光刻机巨头,面对着这个说法都是嗤之以鼻:在精密的机器中加入水,成为一个浸润环境,就不怕水漏了吗?短期来看,这个办法可能会成功,但是长期来看,根本就是在走弯路!

尤其是巨头尼康,决定在157纳米的光源上研究,根本就不搭理林本坚这种歪门邪道。

就像是数码相机一样,当年柯达首先研制出来数码相机,但是害怕因此威胁到胶片的生意,所以他们采用的办法就是将数码相机藏起来,不让别人知道!

尼康在157纳米的道路上走到黑,而此时名不经传的阿斯麦却注意到了这个弯道超车的机会,对他们来说,这是一个迅速追赶世界先进水平的机会!

所以,他们接受了林本坚的技术,研发起来了浸润式光刻机,不过,这已经是03年的事情了,仅仅一年的时间,也就是04年,他们就制造出来了样机,然后迅速拿下了IBM和台积电等等大客户的订单。

尼康仅仅晚了不到一年的时间,把自己的是157纳米激光的干式光刻机技术弄成功了,但是,客户却不要了!一代巨头尼康就这样衰落了,而阿斯麦从此成为了光刻机行业的老大。

这段历史,对于秦涛这个造船工程师,也是有所耳闻的,所以现在,他如果想要弯道超车的话,那当然就是选择对技术路线了!

只有三十多人的阿斯麦都能做到,拥有雄厚财力的明州集团,难道还做不到这种事情吗?

什么技术封锁,狗屁!到以后,明州集团的光刻机会成为阿斯麦一样的存在,全世界的巨头都得上赶着过来求购!

第二天。

清华大学,精密仪器系会议室。

“秦总,我们就知道,你们明州集团既然已经涉足了芯片领域,那就总有一天,会需要我们自己生产的加工设备的。”年过半百的负责人徐端义兴奋地说道:“接到了您的消息之后,我们激动得一晚上都没有睡着。”

国内搞光刻机也是有基础的,清华大学就是其中之一,他们的精密仪器系就是专业对口的,当年,为了搞国产的光刻机,他们曾经举行过大会战,在71年研制出中国第一台光刻机和分步重复照相机,并投入规模生产,供应全国半导体行业使用。前几年则是进一步研制了第三代“自动对准分步投影光刻机”,这款光刻机其实已经达到了世界先进水平,国际上的同行还曾经纷纷前来观摩学习,可惜当时没有任何的知识产权的概念,他们是知无不言言无不尽。

结果,技术都被国外同行学去了,他们生产的光刻机却没有客户使用,之后几年,他们也放弃了光刻机的研发。

徐端义是国内搞光刻机的领军人,心中是非常痛苦的,现在,终于迎来了好消息,秦总要投资搞光刻机了!

“我想知道,如果我们搞光刻机,能不能达到世界一流水平,以后我们自己就可以生产,哪怕被国外封锁都不怕?”秦涛也是单刀直入,毕竟他对这个行业不是特别熟悉。

“秦总,光刻机说起来很高大上,但是实际上,它主要由三部分组成。”徐端义介绍起来:“它需要全球顶级的光源,也就是专门的激光系统;还需要高精度的镜头,以及精密仪器制造技术。在这三个领域里,我们能解决最后一个,这是我们系的专长,但是,前两个系统就难了。”

阿斯麦在后世很牛,是世界上最强的光刻机巨头,但是,它也不过就是个总装厂,各种零件走的都是全球合作的道路,比如说镜头来自德国的蔡司,光源来自美国企业Cymer。

“对啊,尤其是激光的光源,目前在全世界的光刻机生产厂的面前,都摆着193纳米激光光源的技术鸿沟,我们想要研制世界先进水平的光刻机,还得解决这个难题。”一旁的系主任开口说道。

虽然已经放弃了光刻机的研发,但是,众人还是关注这个行业的,秦总提出了这个想法之后,他们更是连夜收集了各种资料。

此时,他们必须要把各种困难都摆在眼前,告诉秦总这个行业有多难。

“你们听说过湿刻法吗?或者叫做浸润法?”秦涛提出了这条技术路线。

“秦总,这个方法并不是主流的,属于旁门左道,就算是解决了现在的193纳米光源的问题,也无法继续解决以后的问题,毕竟芯片制程需要不断的更新。”徐端义说道。

这也是几乎整个光刻机领域的工程师对林本坚的看法了,你这纯粹就是歪门邪道啊!

“但是,这种方式更有可能以小博大。”秦涛说道:“各位,不知道你们想过没有,就算是以后有了更先进的光源,但是照样会遇到制程问题,而这种方法还能继续使用啊!”

就拿尼康孜孜不倦地钻研的157纳米的光源相比,如果再借助这种湿刻法,那光源一下子就降低到100纳米以下了啊!

“秦总,您认为这条路可行?”徐端义认真地问道。

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