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第277章 历史性时刻

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“原来如此。”侯盛昌闻言立刻想明白了中间情况。

眼下根据笨笨复制来的人工智能深海,已经逐步运用到各种领域上,并且发挥出了远超人类的能力,辅助软件开发自然不算什么。

这点侯盛昌还是有一定认知的。

“太好了。”

“如此我们的芯片制造产业链就能完全解决,今后不再有什么掣肘了。”

随即他想到这个情况带来的作用,脸上的笑容顿时又盛了几分。

周围其他人虽没开口发言,但从神情来看心情也都算不错。

尽管到现在测试才算刚刚开始,可看到徐昀这波澜不惊信心十足的状态,倒是让他们都平复了许多。

进行光刻前晶圆一般要通过高温加热方式其表面产生氧化膜,作为光导纤维便于后续的光刻流程,这也就是所谓的覆膜。

晶圆完成这项流程后,接下来便是涂抹光刻胶。

值得一提的是,这可不是霓虹那边公司生产出来的高端光刻胶。

而是来源自徐昀碰巧合成的全新光刻胶,检测表现出来的数据远远超过对方。

关键成本方面更加低廉。

不过由于先前国内并不具有高端光刻机,所以一直没有办法实际测试。

今天总算能代替其真正价值。

只要表现的足够稳定,那么接下来便可以批量生产保证芯片的制造。

对此侯盛昌则最为高兴,想到因为徐昀科学院在光刻胶领域节省了大量时间和金钱,便让人心情舒爽。

要知道光刻胶可也是芯片制造中的重要环节,是必须要攻克的存在。

以往国内没有高端光刻机,也就未朝高端光刻胶领域过多发展。

进行研究的皆以低端光刻胶为主。

根本无法使用在光刻机上。

幸好徐昀机缘巧合下合成出了全新光刻胶,否则空有光刻机没有高端光刻胶,照样无法完成今天的测试。

哪怕成功交付,也解决不了半导体领域问题。

毕竟就算立刻投入大量精力去研究,也不见得能在短时间内研发出高端光刻胶。

“这次可要感谢徐教授的光刻胶啊,要不然今天的测试就只能进行到这步了。”

或许是侯盛昌心情不错,这个时候也不忘提起徐昀眼神中满是喜爱。

再一次为自己让徐昀担任项目负责人的重大决定感到庆幸。

说起来当初也正是徐昀的光刻胶在全球引起比较大的言论热度,他这才下定决心邀请徐昀过来研发首台国产极紫外光刻机。

这时旁边的罗长辉也忍不住说:“徐教授的光刻胶确实解决了我们很大问题。”

徐昀听着两人给自己戴高帽,心里也是哭笑不得。

当即开口回应道:“毕竟是新型光刻胶,具体能否达到稳定的效果,暂时还不得而知呢。”

他这话自然不是谦虚。

这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试,且目前生产出来的存量也有限,很多地方确实需要看最终结果。

比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。

如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大,那就算光刻胶成本很低,也绝对不会继续使用。

这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。

基本晶圆厂绝对不会冒险。

否则所造成的损失将直接影响到利润。

侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任,闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道:“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天,要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。

随即光刻机将极紫外光通过镜片,照在前面准备好的集成电路掩膜版上。

将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。

后面则需要溶解光刻胶。

使光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。

清除后留下的图案和掩模上的一致,再进行蚀刻。

尽管到这一步已经非常繁琐,可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数,直至制造出布满芯片的晶圆。

虽然这个等待的过程比较枯燥,徐昀侯盛昌等人却没有丝毫的不耐烦。

在晶圆参考电路图案和每一块芯片进行对比测试后便开始切片。

并丢弃瑕疵芯片。

余下芯片经过封装再次测试后,便能包装发货。

把整个流程全部跟下来,可以确定光刻机的各项功能和运行都没有问题,在设计时的理想参数范围内。

虽不知道长期运行后会有什么变化,起码现在通过了测验。

接下来则只需要确定芯片的瑕疵率,以及生产出的芯片最终性能。

如果都没有问题的话,便能够正式对外界宣布首台国产极紫外光刻机交付。

相信解释肯定会引起全球的轰动。

“拿到最终芯片测试数据还要等些时间,院长还是先去休息室吧。”

徐昀稍微松了口气,特意对身旁的侯盛昌说。

眼下该看的东西都已经看完,接下来光刻机也会自行运转工作,倒没必要继续留在原地等待。

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